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深圳太陽能板廠家-深圳市迪晟能源技術(shù)有限公司,關(guān)于光伏發(fā)電太陽能電池板生產(chǎn)中普遍采用的擴散方法。
硅太陽能電池板生產(chǎn)所用的源擴散方法主要有以下幾種。
涂布源擴散通常又可分簡單涂布源擴散和二氧化硅乳膠源涂布擴散兩種。
沉積在硅表面的雜質(zhì)元素在擴散溫度下向硅內(nèi)部擴散,從而形成P-N結(jié)或N-P結(jié)。
②二氧化硅乳膠是一種有機硅氧烷的水解聚合物,它能溶解于乙醇等有機溶劑中,成為有一定黏度的溶液,在100~400C烘烤后,可形成無定形的二氧化硅。二氧化硅乳膠可通過在硅酸乙酯中加水和無水乙醇,經(jīng)過水解的方法獲得,也可以通過將四氯化硅通人醋酸后加乙醇制得。在乳膠中適量溶解五氧化二磷或三氧化一硼等雜質(zhì),并經(jīng)乙醇稀釋,就可以得到所需的二氧化硅乳膠源。
液態(tài)源擴散有三氯氧磷液態(tài)源擴散和硼液態(tài)源擴散等方式。它是通過氣體攜帶的方法將雜質(zhì)帶入擴散爐內(nèi)實現(xiàn)擴散的。
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