制結(jié)是在基體材料上生成不同導(dǎo)電類型的擴(kuò)散層,形成P-N結(jié)。這是電池制作過程中的關(guān)鍵工序。目前主要有熱擴(kuò)散、離子注入、外延、激光以及高頻電注入等方法。

　　擴(kuò)散是物質(zhì)分子或原子運(yùn)動(dòng)所引起的一種自然現(xiàn)象。熱擴(kuò)散制造P-N結(jié)是用加熱的方法,使5價(jià)雜質(zhì)摻入P型硅，或3價(jià)雜質(zhì)摻入N型硅。硅太陽電池中常用的5價(jià)雜質(zhì)元素是磷,3價(jià)雜質(zhì)元素是硼。

　　對(duì)于擴(kuò)散的要求是獲得適合于太陽電池P-N結(jié)所需的結(jié)深和擴(kuò)散層方塊電阻。淺結(jié)的表面濃度低，電池短波響應(yīng)好，但會(huì)引起串聯(lián)電阻增加，只有提高電極柵線的密度，才能有效提高電池的填充因子，這樣就增加了工藝難度;如果表面濃度太大，會(huì)引起重?fù)诫s效應(yīng)，使得電池的開路電壓和短路電流均下降。在實(shí)際電池制作中，應(yīng)綜合考慮各種因素，結(jié)深般控制在0.3 ～0.5μm。

　　擴(kuò)散質(zhì)量是否符合工藝要求，可通過測(cè)量薄層電阻R¨來衡量，薄層電阻即方塊電阻，為單位面積的半導(dǎo)體薄層所呈現(xiàn)的電阻，它可以反映出擴(kuò)散工藝過程中進(jìn)入的雜質(zhì)總量。方塊電阻與擴(kuò)散時(shí)間、擴(kuò)散溫度和氣流量大小等因素密切相關(guān)，一般而言 ，擴(kuò)散雜質(zhì)濃度越高，導(dǎo)電能力越強(qiáng)，方塊電阻也越小。通常方塊電阻為40～70Ω比較適宜。但為了使太陽能電池板轉(zhuǎn)換效率進(jìn)一步提高，目前擴(kuò)散方塊電阻有不斷增大的趨勢(shì)，主要是為了提高結(jié)區(qū)的純度并降低結(jié)區(qū)的復(fù)合速率，從而提高太陽能電池板的短路電流。

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